该案例分享来苏北地段的一家专业半导体设备生育加工客户,最主要的生育集成式电源线路IC芯片。在生育过程中中,晶圆擦洗、蚀刻等多种工序需便用过量智能电子级磷酸(色度≥85%),据此存在高盐浓度含磷工业废水。客户原始加工处理设施管理無法需要满足也日益从紧的排卸要求(TP≤0.5mg/L),肯定需要持续处理。
生产废水因素及收入
废液主要的起源于两个过程:晶圆刷洗废液(占总排水量60%)、的设备情况呢废液(30%)以其地上情况呢废液(10%)。水质检测共同点展现为:pH值1.5-2.5,总磷溶度800-1200mg/L,氟铁离子浓度50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并具有刺激性少量血本属(铜、锌等)。
正确处理施工工艺工作流程
产品所采用"预处置+普通机械沉垫+一级防氧化+深入过滤水"的结构加工过程:
调低池
:平衡土质储水量,可设pH网上监测方案整体
第一的反应池
:污泥脱水氧化钙乳缓解pH至8.5-9.0,生成Ca3(PO4)2沉淀物
二次元响应池
:加PAC和PAM提升水解酸化池特效
斜板凝固池
:推动固液分离出来,废水来到脱水过滤机系统
Fenton氧化的单元测试
:H2O2与Fe²⁺联合做用挥发有机质物
多媒介筛选器
:石英晶体砂+亲水性炭乐队组合过滤清洁,为了保证水流使水变
阴离子变换系統
:进步清掉的残留物合金金属阳离子
结果效果好
平台执行相对稳定后,留水水体:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟正离子≤5mg/L,相关因素好于《电子设备工业生产水被环境有害特性的减排准则》(GB 39731-2020)。常年才能减少磷的减排约15吨,生活污水制造量较常用鑫霖环保拉低40%,执行投资成本抑制在8.3元/吨水。