该厂为84英寸晶圆引起线配套设施的超软水系统化，整天引起含硅废水治疗方法150吨。废水治疗方法中虽无天价属，但硅含碳量高易水垢，且电容率需达标18MΩ·cm就可以造纸废水治疗。改变治疗工艺设备不了足够新实行的《电子技术工艺水感染物进行排放口规范》（GB39731-2020）专门进行排放口卫生防护距离。 污水的成分特征 主耍污染问题物 ：溶液硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒度0.1-1μm） 特有的要求 ：TOC<10μg/L，硼成分<5μg/L 水硬度特点 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机物形态特征很复杂 治理 新工艺工作流程 科学创新运用"梯级膜拆分+电去铝离子"女子组合方法： 微滤预正确处理 ：1μm瓷器膜手机拦截大科粒硅，通量达到80LMH 铝离子互换不饱和树脂 ：D201大孔树酯挑选性吸硅酸碳原子 二次元RO装置 ：第一个段环保再生资源回提取率60%，其二段通过高脱硼膜电气元件 EDI电去铝离子 ：电流量体积密度2A/m²，延续去掉多余正离子 红外光谱除臭 ：254nm分光光度计线药量40mJ/cm² 技术设备特色 制作专业阻硅剂（巧妙胺类包覆物），延迟膜污染问题的周期3倍 EDI接口创新性流道设计，硅剔除率优化至99.8% 再线硅介绍仪（校正使用范围0.1-500μg/L）实行脱贫调控 运动初步成效 经其两方判断： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含量从8μg/L下降0.3μg/L 机系统回收分类处理率从原40%发展至68% 膜更換时间是廷长至5年，年作业直接费用大幅度降低35%