某半导体电子器件电子器件制作业厂在晶圆加工生产整个过程中，使用的硅烷开始硅概念植物的生长，废气洗滌塔引起高氧浓度含硅废渣。废渣具pH震荡大（2-11）、硅含磷量高的特色，传统型清理工艺易产生硅垢堵死故障。 废污水组成成分及来源地 污水具体成份为： 溶解出来性硅酸盐 ：SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 氢腐蚀钾/氢腐蚀钠 ：干洗剂塔酸碱性干洗剂液残余物 颗粒状硅 ：微米级SiO₂固体 痕量砷 ：塑料原材料悬浮物融入 加工方法方案 革新选择"二级采和+膜活性炭过滤+挥发心得"加工： 三级中合 ：用CaO调整pH至4-5，产生硅酸钙凝固，硅取除率60%。 下级中合 ：加Na₂CO₃将pH增强至9，进第一步析出已用硅，串并联用镁剂除砷。 超滤膜装置 ：0.02μm瓷器膜活性炭过滤纳米技术级硅粉末，通量维持在80LMH。 MVR蒸发掉器 ：精浓高盐废水处理工艺，析出出Na₂SO₄副企业产品，水造纸废水处理率超90%。 不可能功效 总硅从1500mg/L减少为5mg/L下例 砷分量从0.8mg/L低于0.01mg/L 系统无积灰使用高于2年 每季度回收利用硝酸钠钠晶状体约800吨